德国sentech公司 pecvd 气相沉积系统-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州 sentech仪器（德国）有限公司研发、制造和销售的薄膜测量仪器（光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪）、光伏测量仪器（在线和离线测量工具）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统）。 仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、led、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。 novtec寓意“科技创新”，即诺威特测控科技有限公司，在德国、日本设有代表处，多年来致力于将世界品牌的高科技产品带给及亚洲的广大用户，并为客户提供完善的售后服务，协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利，专业从事工业测量与测试产品的销售与研发，拥有产品研发中心、研究院和生产工厂，技术力量雄厚。 产品简介 si500d突出优点是采用平板三螺旋天线ptsa电感耦合等离子体icp源和背部有氧气冷却系统的下电极，大样片直径8吋。icpecvd感应耦合等离子增强化学气相沉积系统si500d满足高端工艺要求，适用于器材的生产和研发应用。si500d在基于的沉积工艺中具有出色的性能。 si500ppd是标准的pecvd系统，配置带干泵的预真空室，真空反应腔配置罗茨泵和涡轮分子泵。 depolad200是经济型的pecvd系统，具有模块化设计、工艺灵活和操作简便的特点，样片直接放置。刻逐步进行真空系统、供气系统的升级，以满足更高的工艺要求。 型号 si500d icpecvd沉积系统 室温~350℃ si500ppd pecvd沉积系统 带预真空室 200℃~350℃ depolab200 pecvd沉积系统 不带预真空室 200℃~400℃ 具体型号及技术要求欢迎来电咨询。 联系方式： 诺威特测控科技有限公司 add：苏州市高新技术开发区金枫南路198号 联系人：夏雨先生 tel:0512-66581379/ fax:0512-68702009 e-mail:info@novtec.hk http//www.novtec.hk 名称 pecvd 气相沉积系 产品用途 气相沉积系 气相沉积系 pecvd